Шаблон AlN
AlN на кремниевом шаблоне
Очень универсальная платформа шаблонов AlN-on-Si. Высококачественный слой AlN поддерживает широкий спектр применений, включая эпитаксию GaN/RF, пьезоэлектрические фильтры MEMS (SAW/BAW) и современные фотонные устройства, обеспечивая бесшовную интеграцию с зрелыми процессами производства кремния.