Кремниевая подложка

Power Wafertech Group поставляет однокристаллические кремниевые пластины для производства полупроводниковых приборов, MEMS, эпитаксиального роста и исследовательских применений. Могут поставляться как кремниевые, так и тестовые пластины.

Размер — 4”, 6”, 8”, 12”
Ориентация — (100), (110), (111), (211) и так далее.
Метод роста — CZ, FZ
Сопротивление — 0,0005 Ω·см до >10 000 Ω·см
Поверхностная отделка — SSP, DSP, lapped, etced и as-cut
Упаковка — Кассета с одной или несколькими пластинами, вакуумно запечатанная

Поделитесь этим продуктом:

Подробные технические характеристики

Опубликованные спецификации по диаметру пластины.

Select a diameter to review the corresponding published specification set.

Параметр	6" (150 мм) кремниевая пластина
Рост кристаллов	CZ / FZ
Ориентация кристаллов	(100), (110), (111)
Тип допинга	N-тип (P, As, Sb), P-тип (B)
Оценка	Прайм, тест, манекен, исследовательский уровень
Сопротивление	0,0005–10 000+ Ω·см, в зависимости от способа роста и легирования
Толщина	675 ± 25 мкм
TTV	≤5 мкм
Лук
Варп
Поверхностная отделка	SSP, DSP, lapped, etced или as-cut
Край	Выемка или плоская, стандарт SEMI
Упаковка	Кассета с одной или несколькими пластинами, вакуумно запечатанная

Параметр	8" (200 мм) кремниевой подложка
Рост кристаллов	CZ / FZ
Ориентация кристаллов	(100), (110), (111)
Тип допинга	N-тип (P, As, Sb), P-тип (B)
Оценка	Прайм, тест, манекен, исследовательский уровень
Сопротивление	0,0005–10 000+ Ω·см, в зависимости от способа роста и легирования
Толщина	725 ± 25 мкм
TTV
Лук
Варп
Поверхностная отделка	SSP, DSP, lapped, etced или as-cut
Край	Notch, стандарт SEMI
Упаковка	Кассета с одной или несколькими пластинами, вакуумно запечатанная

Параметр	12" (300 мм) кремниевой подложка
Рост кристаллов	CZ
Ориентация кристаллов	(100), (110), (111)
Тип допинга	N-тип (P, As, Sb), P-тип (B)
Оценка	Прайм, тест, манекен
Сопротивление	Настройка в соответствии с требованиями легирования
Стандартная толщина	775 ± 25 мкм
TTV
Лук
Варп
Поверхностная отделка	SSP, DSP, lapped или etced
Обработка краёв	Notch, стандарт SEMI
Упаковка	Кассета с одной или несколькими пластинами, вакуумно запечатанная

Кремниевая пластина	Типичное сопротивление	Ключевые применения
Сильно допингированный Si	0,0005–0,005 Ω·см	Силовые устройства, MOSFET, IGBT, диоды, эпитаксиальные подложки
Низкое / среднее сопротивление Si	0,005–100 Ω·см	ИС, CMOS, MEMS, сенсоры, полупроводниковые исследования и разработки
Высокосопротивление Si	100–10 000 Ω·см	Радиочастотные устройства, высокочастотные цепи, датчики, исследования
Сверхвысокосопротивление Si	>10 000 Ω·см	Радиочастотные, микроволновые, детекторные и специализированные исследовательские приложения

Применение

Где эта пластина приносит ценность

Сильно допингированный Si

Силовые устройства, MOSFET, IGBT, диоды питания, эпитаксиальные субстраты | Типичное сопротивление: 0,0005–0,005 Ω·см

Низкое / среднее сопротивление Si

ИС, CMOS, MEMS, сенсоры, полупроводниковые исследования | Типичное сопротивление: 0,005–100 Ω·см

Высокосопротивление Si

Радиочастотные устройства, высокочастотные цепи, датчики, исследования | Типичное сопротивление: 100–10 000 Ω·см

Сверхвысокосопротивление Si

РЧ, микроволновые, детекторные и специализированные исследовательские приложения | Типичное сопротивление: >10 000 Ω·см

FAQ

Распространённые вопросы об этом продукте

Быстрые ответы по выбору материалов, кастомизации, тестированию и заказу.

Какой диапазон сопротивления доступен?

Наш портфель кремниевых пластин охватывает примерно от 0,0005 Ω·см до >10 000 Ω·см, в зависимости от метода выращивания кристаллов и требований к легированию.

Вы предоставляете кремниевые пластины прайм- и тестового класса?

Да. Мы поставляем прайм, тестовые, фиктивные и исследовательские пластины в соответствии с требованиями к применению и качеству.

Можно ли настроить спецификации кремниевых пластин?

Да. Диаметр, ориентация, легирование, сопротивление, толщина, отделка поверхности, TTV, лук и основа могут быть адаптированы под конкретные требования устройства или процесса.

Техническое расследование

Поговорите с инженерами о ваших потребностях в пластинах

Поделитесь материалом, размерами, техническими характеристиками, заявкой или стадием проекта. Наша команда рассмотрит ваши требования и ответит в течение одного рабочего дня.